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深冷分离法又称为低温精馏法，利用空气中氮气与氧气的沸点不一致来分离氧气和氮气。由于氮气的沸点（-196℃） 低于氧气（-183℃），在液态空气的蒸发过程中，液氮比液氧更容易变成气态，而在空气液化过程中，氧气比氮气更容易变成液态。由于氮气与氧气的沸点相差不大，液态空气与气态空气需经过反复多次的蒸发、冷凝、再蒸发过程（该过程称为低温精馏过程），终在精留塔顶部气相馏分中就可以过得较高高纯度的氮气，氮气的纯度取决于精馏塔的塔板级数和精馏效率。

膜分离技术是基于薄膜对气体组分具有选择性渗透和扩散的特性，以达到气体分离和纯化的目的。气体中各种组分透过膜的速度不同，每种组分透过膜的速度与该气体的性质、膜的特性和膜两面的分压差有关。透过膜的气体组分不可能达到 的纯度。气体分离膜通常可分为多孔材质和非多孔材质，它们无机物（多孔玻璃、陶瓷、金属、电子导电性固体和钯合金等）或有机高分子（微孔聚乙烯、多孔醋酸纤维、均质醋酸纤维、聚硅氧烷橡胶和聚碳酸脂）组成。 [4] 
净化后的压缩空气经过缓冲罐，联合过滤器后由膜组一端进入，气体分子在压力作用下首先在膜的高压侧接触。混合气体在膜的高压侧表面以不同的溶解度溶于膜内，然后在膜两侧压力差的推动下，混合气体的分子以不同的速度向膜的低压侧扩散。经过溶解和扩散两个过程的选择，终混合气体被分离成各个组分。例如：空气、氧气的透过速度大于氮气，经过膜分离之后，高压侧留下的气体富氮，而透过去的气体富氧。

该方法是以压缩空气为原料，一般以分子筛为吸附剂，在一定的压力下，利用空气中氧气和氮气分子在不同分子筛表面吸附量的差异，在一定时间内氧在吸附相富集， 氮在气体相富集，实现氧、氮分离；而卸压后分子筛吸附剂解析再生，循环使用。 [3]  吸附剂除了分子筛之外，还可应用活性氧化铝、硅胶等。 
目前， 常用变压吸附制氮装置是以压缩空气为原料，碳分子筛为吸附剂，利用氧和氮在碳分子筛上的吸附容量、吸附速率、吸附力等方面的差异及分子筛对氧和氮随压力不同具有不同的吸附容量的特性来实现氧、氮分离。首先，空气中的氧被碳分子筛优先吸附，从而在气相中富集氮气。为连续获得氮气，需两个吸附塔交替工作。

氮气用途
1，化工合成
1，合成纤维（锦纶zhi、腈纶），合成树脂，合成橡胶等的重要原料。
2，氮是一种营养元素还可以用来制作化肥。例如：碳酸氢铵NH4HCO3，NH4Cl，NH4NO3等等。
2，其他用途
1，由于氮的化学惰性，常用作保护气体，如：瓜果，食品，灯泡填充气。以防止某些物体暴露于空气时被氧所氧化，用氮气填充粮仓，可使粮食不霉烂、不发芽，长期保存。
2，液氮还可用作深度冷冻剂。作为冷冻剂在做除斑，包，豆等的手术时常常也使用，即将斑，包，豆等冻掉，但是容易出现，并不建议使用。
3，高纯氮气用作色谱仪等仪器的载气。
4，用作铜管的光亮退火保护气体。
5，跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机的激体。
6，氮气也作为食品保鲜保护气体的用途。
7，在化工行业，氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。
8，用作铝制品、铝型材加工，铝薄轧制等保护气体。
9，用作回流焊和波峰焊配套的保护气体，提高焊接质量。
10，用作浮法玻璃生产过程中的保护气体，防锡槽氧化。
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